电子厂净化车间洁净隧道的特点是什么?
电子厂净化车间洁净隧道的特点是什么?在隧道内造成不同的洁净度,从而充分利用了不同洁净气流的特性,最 大限度地满足工艺要求。一般情况下,隧道内的两侧是高洁净度的层流工作区,中间是乱流的操作活动区。工艺区连成一条线,使用方便,人员的活动也不会引起交叉污染。
由于在隧道内减少了层流面积,基建费用和运行费用要比全室净化的垂直层流洁净室节约三分之一以上。乱流活动操作区的净高较层流工艺区高得多,能满足人员舒适感的要求。
技术夹道既可作为回风道,又可布置各种工业管道,安装工艺辅助设备。组成洁净隧道的局部净化设备(洁净工作台、洁净棚和层流罩等)、工业管道以及工艺辅助设备的维修均可在技术夹道内进行。由于技术夹道相对于洁净隧道为负压,因此,维修工作不会引起洁净隧道的污染,维修工作可在不停止工艺生产的情况下进行。
洁净隧道所需的局部净化设备、顶棚、壁板、回风口及门窗等构件,可以标准化、模数化,由专业工厂加工生产,在现场组装。同时,洁净隧道可以迅速拆装,重新组合,为工艺变化提供了方便。
洁净隧道可以按一定规模配置净化空调系统,因此空调系统可通用化、系列化,从而可以大大缩短设计周期。
一般情况下,洁净隧道对于建筑方面的要求比较简单,只要具备乱流洁净室的环境,即可满足要求。
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